| 氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响 | |
| 丁宇; 蒋百灵; 田亚萍; 马二云; 张晓静; 曹智睿; 赵志明 | |
| 2011 | |
| 卷号 | 27页码:306-310 |
| 关键词 | AZO薄膜 直流反应磁控溅射 氧气流量 光电性能 |
| ISSN号 | 1006-4710 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1006-4710.2011.03.011 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5033889 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁宇,蒋百灵,田亚萍,等. 氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响[J],2011,27:306-310. |
| APA | 丁宇.,蒋百灵.,田亚萍.,马二云.,张晓静.,...&赵志明.(2011).氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响.,27,306-310. |
| MLA | 丁宇,et al."氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响".27(2011):306-310. |
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