| 靶功率对溅射沉积CIGS薄膜的结构与光学性能的影响 | |
| 赵志明; 田亚萍; 曹智睿; 马二云; 张晓静; 白力静; 蒋百灵 | |
| 2012 | |
| 卷号 | 26页码:22-26 |
| 关键词 | 单靶磁控溅射 CIGS薄膜 晶体结构 表面形貌 透过率 |
| ISSN号 | 1005-023X |
| DOI | 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.04.007 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5022622 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵志明,田亚萍,曹智睿,等. 靶功率对溅射沉积CIGS薄膜的结构与光学性能的影响[J],2012,26:22-26. |
| APA | 赵志明.,田亚萍.,曹智睿.,马二云.,张晓静.,...&蒋百灵.(2012).靶功率对溅射沉积CIGS薄膜的结构与光学性能的影响.,26,22-26. |
| MLA | 赵志明,et al."靶功率对溅射沉积CIGS薄膜的结构与光学性能的影响".26(2012):22-26. |
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