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题名	基于线阵CCD的高精度硅芯直径测量系统研制
作者	陈海霸
答辩日期	2012
授予单位	西安理工大学
关键词	高精度硅芯 直径测量 线阵CCD 硬件平台 膨胀腐蚀算法 软件编程
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5017133
专题	西安理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	陈海霸. 基于线阵CCD的高精度硅芯直径测量系统研制[D]. 西安理工大学. 2012.

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