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题名	微晶硅薄膜的生长过程与晶化机械研究
作者	姜子凡
答辩日期	2013
授予单位	西安理工大学
关键词	微晶硅薄膜 生长过程 氢稀释 衬底温度 晶化机制
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5005493
专题	西安理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	姜子凡. 微晶硅薄膜的生长过程与晶化机械研究[D]. 西安理工大学. 2013.

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