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题名	GaN基薄膜阳极刻蚀及相关性质的研究
作者	高庆学
导师	肖洪地
关键词	电化学刻蚀 中性溶液 纳米多孔 纳米空腔 自支撑GaN基LED薄膜
学位名称	理学硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5000332
专题	山东大学
推荐引用方式 GB/T 7714	高庆学. GaN基薄膜阳极刻蚀及相关性质的研究[D].

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