边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响

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	边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响
	石广丰 ; 金光 ; 张鹏 ; 孙小伟
刊名	半导体光电
	2010-06-15
期号	3
关键词	静电拉伸薄膜反射镜预应力/预应变边界位移
ISSN号	1001-5868
中文摘要	圆形薄膜周边夹持预应力调节对静电薄膜反射镜面形的成形质量具有重要的调节作用。分析了180mm口径的静电薄膜反射镜边界位移的调节范围,计算出了相应调节极限,并结合静电拉伸薄膜实验进行了四种边界位移调节工况的验证。预应力施加过大会造成电极施加电压增高,严重时造成薄膜击穿,但预应力施加过小会造成面形质量不佳。最大边界位移调解量影响薄膜反射镜结构参数和所施加电压,同时薄膜反射镜结构参数和所施加电压也限制着最大位移边界调解量的取值。合理选取并精密控制圆薄膜的边界位移量对于大口径静电薄膜反射镜的精确成形来说至关重要。
收录类别	EI
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23571]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	石广丰,金光,张鹏,等. 边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响[J]. 半导体光电,2010(3).
APA	石广丰,金光,张鹏,&孙小伟.(2010).边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响.半导体光电(3).
MLA	石广丰,et al."边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响".半导体光电 .3(2010).