SPR传感芯片的理论与实验研究

	SPR传感芯片的理论与实验研究
	吴一辉
刊名	传感技术学报
	2008-02-01
期号	2
中文摘要	针对光纤SPR(表面等离子体共振)传感器制作工艺复杂的问题,提出了一种光纤先固定后部分镀膜的SPR传感芯片的制作方法。依据电磁场和射线理论,分析并讨论了此种波长调制部分镀膜SPR传感芯片的工作原理,采用MEMS制作工艺对探测光纤进行封装固定以后,再对光纤进行部分镀膜,其结构简单,工艺性好,易于实现批量化。最后,搭建了一套基于波长检测的光纤SPR测试系统对其进行测试。实验结果表明:在折射率范围为1.33~1.36时,共振波长同折射率具有良好的线性关系,光谱仪分辨率为0.1nm时,其分辨率可达到3×10-5折射率单位。
收录类别	EI
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23129]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吴一辉. SPR传感芯片的理论与实验研究[J]. 传感技术学报,2008(2).
APA	吴一辉.(2008).SPR传感芯片的理论与实验研究.传感技术学报(2).
MLA	吴一辉."SPR传感芯片的理论与实验研究".传感技术学报 .2(2008).