Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验

	Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
	尼启良
刊名	光学精密工程
	2006-12-30
卷号	6 期号:14 页码:939
ISSN号	1004-924X
中文摘要	基于Xe的惰性和在13~14nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13.4nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况。实验结果表明,Xe在13.4nm的最高转换效率可以达到0.75%/2πsr/2%bw,辐射稳定性±4%(1σ),在激光打靶105次后无碎屑产生。
收录类别	EI
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23001]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	尼启良. Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验[J]. 光学精密工程,2006,6(14):939.
APA	尼启良.(2006).Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验.光学精密工程,6(14),939.
MLA	尼启良."Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验".光学精密工程 6.14(2006):939.