高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统

	高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统
	艾华
刊名	传感器与微系统
	2010-11-01
卷号	29 期号:11 页码:101-103
ISSN号	1000-9787
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22328]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	艾华. 高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统[J]. 传感器与微系统,2010,29(11):101-103.
APA	艾华.(2010).高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统.传感器与微系统,29(11),101-103.
MLA	艾华."高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统".传感器与微系统 29.11(2010):101-103.