补偿器法检测非球面过程中易出现的误区

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	补偿器法检测非球面过程中易出现的误区
	明名 ; 杨飞 ; 陈宝刚 ; 李剑峰 ; 林旭东
刊名	光电工程
	2010-10-20
卷号	37 期号:10 页码:116-121
ISSN号	1003-501X
中文摘要	补偿器法是测量非球面反射镜面形误差的一种重要的方法。在检测过程中,各个元件之间的调整会带来初级像差,这是影响最终检测结果的一个关键因素。本文以一个1m口径的非球面反射镜为例,首先详述了其面形误差检测的设计和测量过程,然后分析了各个元件的调整会带来相应的初级像差,随后给出了实际检测过程中出现的误区,并对其进行了分析和讨论,结合实际的检测过程得出了相应的判断和消除的方法。最后,分别对300mm、700mm口径非球面反射镜与本文1m非球面镜的检测结果进行了比较,证明了该误区会使最后的检测数据发生变化,从而使最后的检测结果失真,并验证了先判别后消除方法的可靠性。最后利用正确的方法,检测得到1m口径非球面被测镜的RMS面形误差为0.038λ,满足指标要求。
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22285]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	明名,杨飞,陈宝刚,等. 补偿器法检测非球面过程中易出现的误区[J]. 光电工程,2010,37(10):116-121.
APA	明名,杨飞,陈宝刚,李剑峰,&林旭东.(2010).补偿器法检测非球面过程中易出现的误区.光电工程,37(10),116-121.
MLA	明名,et al."补偿器法检测非球面过程中易出现的误区".光电工程 37.10(2010):116-121.