| 基于响应面法的直拉硅单晶生长工艺参数优化方法 | |
| 张晶; 潘亚妮; 刘丁; 牟伟明 | |
| 2018 | |
| 卷号 | 47页码:2429-2435 |
| 关键词 | 直拉硅单晶 固液界面 工艺参数优化 响应面法 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4971980 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张晶,潘亚妮,刘丁,等. 基于响应面法的直拉硅单晶生长工艺参数优化方法[J],2018,47:2429-2435. |
| APA | 张晶,潘亚妮,刘丁,&牟伟明.(2018).基于响应面法的直拉硅单晶生长工艺参数优化方法.,47,2429-2435. |
| MLA | 张晶,et al."基于响应面法的直拉硅单晶生长工艺参数优化方法".47(2018):2429-2435. |
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