时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜

	时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜
	袁宏韬 ; 张贵彦
刊名	激光与红外
	2007-04-30
期号	4
关键词	倍频波长分离膜时间监控双离子束溅射半波孔
ISSN号	1001-5078
中文摘要	采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜。为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法。
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21268]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	袁宏韬,张贵彦. 时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜[J]. 激光与红外,2007(4).
APA	袁宏韬,&张贵彦.(2007).时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜.激光与红外(4).
MLA	袁宏韬,et al."时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜".激光与红外 .4(2007).