TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化 | |
薛群基 | |
刊名 | 无机化学学报 |
2011 | |
卷号 | 27期号:1页码:135-140 |
关键词 | 图案化 光照 电子 空穴 迁移率 patterned irradiation electron hole mobility |
ISSN号 | 1001-4861 |
通讯作者 | 梁山 |
中文摘要 | 比较了3种具有羟基表面SiO2 层的差异:紫外光照 SAMs 形成的羟基表面,紫外光照射前 照射后的羟基表面;用光照前后表面的差异,结合化学浴沉积技术在单晶硅基底上制得了TiO2 微图案薄膜 系统考察了光源 硅片表面性质的变化 溶液等方面对图案生成的影响 实验表明 TiO2 沉积在未照区,电子和空穴动力学上的差异造成光照区表面正电荷增多,抑制了TiO2 的沉积 该方法不需要光刻胶和自组装膜作为辅助模板,具有简单廉价的特点。 |
学科主题 | 材料科学与物理化学 |
收录类别 | CSCD |
资助信息 | 教育部留学回国人员科研启动基金;天津科技大学引进人才科研启动基金(No.20080433)资助项目 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:4116505 |
公开日期 | 2012-09-24 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/931] |
专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛群基. TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化[J]. 无机化学学报,2011,27(1):135-140. |
APA | 薛群基.(2011).TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化.无机化学学报,27(1),135-140. |
MLA | 薛群基."TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化".无机化学学报 27.1(2011):135-140. |
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