TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化
薛群基
刊名无机化学学报
2011
卷号27期号:1页码:135-140
关键词图案化 光照 电子 空穴 迁移率 patterned irradiation electron hole mobility
ISSN号1001-4861
通讯作者梁山
中文摘要比较了3种具有羟基表面SiO2 层的差异:紫外光照 SAMs 形成的羟基表面,紫外光照射前 照射后的羟基表面;用光照前后表面的差异,结合化学浴沉积技术在单晶硅基底上制得了TiO2 微图案薄膜 系统考察了光源 硅片表面性质的变化 溶液等方面对图案生成的影响 实验表明 TiO2 沉积在未照区,电子和空穴动力学上的差异造成光照区表面正电荷增多,抑制了TiO2 的沉积 该方法不需要光刻胶和自组装膜作为辅助模板,具有简单廉价的特点。
学科主题材料科学与物理化学
收录类别CSCD
资助信息教育部留学回国人员科研启动基金;天津科技大学引进人才科研启动基金(No.20080433)资助项目
语种中文
CSCD记录号CSCD:4116505
公开日期2012-09-24
内容类型期刊论文
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/931]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
薛群基. TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化[J]. 无机化学学报,2011,27(1):135-140.
APA 薛群基.(2011).TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化.无机化学学报,27(1),135-140.
MLA 薛群基."TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化".无机化学学报 27.1(2011):135-140.
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