| 一种金属-绝缘体-金属开关器件的制法 （发明） | |
| 刘洪武 ; 黄锡珉 ; 马凯 ; 吴渊 | |
| 1999-10-06 | |
| 专利号 | 1230792 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种用于液晶显示器寻址的金属－绝缘体－金属有源薄膜开关器件的制法。采用五氧化二钽膜制作金属－绝缘体－金属开关器件的绝缘层，阳极氧化的五氧化二钽膜在氢气气氛下进行退火处理。减少绝缘膜的阳极氧化Ｔａ↓［２］Ｏ↓［５］膜表面的富氧层的存在，可以提高器件伏安…… |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 申请日期 | 1998-03-26 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 98106751.4 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12689]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洪武,黄锡珉,马凯,等. 一种金属-绝缘体-金属开关器件的制法 （发明）. 1230792. 1999-10-06. |
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