双环结构微纳生物传感器及其制作方法

	双环结构微纳生物传感器及其制作方法; 双环结构微纳生物传感器及其制作方法; 双环结构微纳生物传感器及其制作方法; 双环结构微纳生物传感器及其制作方法
	解意洋
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体研究所
中文摘要	一种双环结构的微纳生物传感器,包括：一SOI基片,该SOI基片的顶层为顶层硅；一双环结构,该双环结构形成于SOI基片的顶层硅上；一输入波导和一输出波导,该输入波导和输出波导位于双环结构的两侧,并形成于SOI基片的顶层硅上；一U型微流通道,该U型微流通道扣置键合在双环结构上。
公开日期	2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
语种	中文
专利申请号	CN201110100110.1
内容类型	专利
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23421]
专题	半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	解意洋. 双环结构微纳生物传感器及其制作方法, 双环结构微纳生物传感器及其制作方法, 双环结构微纳生物传感器及其制作方法, 双环结构微纳生物传感器及其制作方法.