高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法; 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法; 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法; 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法 | |
刘安金 ; 陈微 ; 周文君 ; 付非亚 ; 王宇飞 ; 郑婉华 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN102109625A |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
中文摘要 | 本发明提供一种高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在该衬底上依次生长材料层、介质层和金属层,在介质层和金属层界面处能够激发表面等离子体模式;步骤3:采用感应耦合等离子体刻蚀的方法或者剥离技术,依次将金属层、介质层和材料层刻蚀,形成周期性的条形光栅结构,完成器件的制作。 |
公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN201110049965.6 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23466] ![]() |
专题 | 半导体研究所_纳米光电子实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘安金,陈微,周文君,等. 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法, 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法, 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法, 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法. CN102109625A. |
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