| 题名 | 基于MEMS技术的无阀微泵的研究及设计 |
| 作者 | 刘昌威 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 导师 | 庞宣明 |
| 关键词 | 微泵扩散/收缩管仿真分析UV-LIGA技术SU-8光刻胶 |
| 学位名称 | 工学硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4863686 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘昌威. 基于MEMS技术的无阀微泵的研究及设计[D]. 2008. |
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