| 题名 | SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究 |
| 作者 | 吕志平 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 刘冲 ; 梁军生 |
| 关键词 | UV-LIGA 隔离带 SU-8胶 热溶胀 微电铸 尺寸精度 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4858422 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕志平. SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究[D]. 大连理工大学. 2010. |
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