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	Modeling of high frequency atmospheric pressure Ar/H2/SiH4 glow discharges
	Zhuang J(庄娟); Sun JZ(孙继忠); Wang DZ(王德真)
刊名	Thin Solid Films
	2011
卷号	519页码:7014-7019
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4849820
专题	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Zhuang J,Sun JZ,Wang DZ. Modeling of high frequency atmospheric pressure Ar/H2/SiH4 glow discharges[J]. Thin Solid Films,2011,519:7014-7019.
APA	Zhuang J,Sun JZ,&Wang DZ.(2011).Modeling of high frequency atmospheric pressure Ar/H2/SiH4 glow discharges.Thin Solid Films,519,7014-7019.
MLA	Zhuang J,et al."Modeling of high frequency atmospheric pressure Ar/H2/SiH4 glow discharges".Thin Solid Films 519(2011):7014-7019.

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