| 脉冲调制射频容性耦合SiH/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断 | |
| 张娇; 张鹏云 | |
| 刊名 | 真空
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 48页码:27-31 |
| 关键词 | 脉冲调制 发射光谱诊断 电子激发温度 |
| ISSN号 | 1002-0322 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4833446 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室,辽宁大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张娇,张鹏云. 脉冲调制射频容性耦合SiH/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断[J]. 真空,2011,48:27-31. |
| APA | 张娇,&张鹏云.(2011).脉冲调制射频容性耦合SiH/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断.真空,48,27-31. |
| MLA | 张娇,et al."脉冲调制射频容性耦合SiH/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断".真空 48(2011):27-31. |
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