| 超声处理减小SU-8 胶层内应力的研究 | |
| 杜立群; 王启佳; 张晓蕾 | |
| 刊名 | 中国科学: 技术科学
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 41页码:474-481 |
| 关键词 | 超声时效 SU-8光刻胶 内应力 轮廓法 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4826384 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜立群,王启佳,张晓蕾. 超声处理减小SU-8 胶层内应力的研究[J]. 中国科学: 技术科学,2011,41:474-481. |
| APA | 杜立群,王启佳,&张晓蕾.(2011).超声处理减小SU-8 胶层内应力的研究.中国科学: 技术科学,41,474-481. |
| MLA | 杜立群,et al."超声处理减小SU-8 胶层内应力的研究".中国科学: 技术科学 41(2011):474-481. |
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