一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (实用新型) | |
巩岩 | |
2008-06-25 | |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 本实用新型属于短波段成像光学领域,具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本实用新型中设计了如图所表示的检测装置,整个光学系统均处于真空条件下,极紫外光源发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网后,打到反射镜和,最后经过待测极紫外成像光学系统在极紫外相机上成像,金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较,经过计算即可…… |
公开日期 | 2008-06-25 |
专利申请号 | 200620149569.5 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12471] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩. 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (实用新型). 2008-06-25. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论