| 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (实用新型) | |
| 巩岩 | |
| 2008-06-25 | |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本实用新型中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网后，打到反射镜和，最后经过待测极紫外成像光学系统在极紫外相机上成像，金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算即可…… |
| 公开日期 | 2008-06-25 |
| 专利申请号 | 200620149569.5 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12471]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩. 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (实用新型). 2008-06-25. |
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