多晶硅薄膜晶体管离子注入机 (实用新型) | |
付国柱 ; 邵喜斌 ; 荆海 ; 廖燕平 ; 高文涛 ; 史辉琨 | |
2005-01-19 | |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 本实用新型属于半导体器件制作技术领域,是一种多晶硅薄膜晶体管离子注入机。本实用新型包含有真空室,抽气装置,气路部分,电控制器。本实用新型的气路部分通过配气截止阀同真空室连接,向真空室运送所要注入的气体。抽气装置通过角阀和闸板阀同真空室连接,利用真空泵使真空室保持一定的真空度。电控制器连接所有的用电部件,作为本实用新型的…… |
公开日期 | 2005-01-19 |
专利申请号 | 200320112910.6 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12393] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 付国柱,邵喜斌,荆海,等. 多晶硅薄膜晶体管离子注入机 (实用新型). 2005-01-19. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论