| 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) | |
| 齐克奇 ; 向阳 | |
| 2012-08-01 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种二自由度微位移精密定位装置，属于一种微位移操作系统。为解决现有技术存在的缺陷，包括定位精度低、个自由度之间扰动大等问题，该装置包括载物台、基板、四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构、四组形状结构相同的平行四边形导向机构、第一压电致动器和第二压电致动器。本发明的有益效果在于，去掉桥式放大机构，改变了驱动模式…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201210090999.4 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12252]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐克奇,向阳. 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明). 2012-08-01. |
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