| 基于微光学阵列元件的二维位移测量装置 (发明) | |
| 卢振武 ; 刘华 ; 王尧 ; 孙强 | |
| 2012-07-25 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，涉及一种基于微光学元件的二维位移测量装置，解决现有二维位移测量中，需要两套独立测量系统，导致体积较大的问题，包括激光器、扩束镜、反射镜、二维参考微光学阵列元件、二维测量微光学阵列元件、聚焦透镜和二维面阵探测器；激光器发出的激光光束经扩束镜和反射镜后平行入射至二维参考微光学阵列元件，…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201210088617.4 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12229]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武,刘华,王尧,等. 基于微光学阵列元件的二维位移测量装置 (发明). 2012-07-25. |
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