可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明)
卢增雄 ; 金春水 ; 王丽萍
2011-12-28
专利类型发明专利
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中文摘要可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法,本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域,克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制,能够实现波前的高精度检测。光路包括:一束入射会聚光波,一块光栅,一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板,一个电荷耦合器,该电荷耦合器的输出端接计算机。一束入射会聚光波经过光栅衍射后,被……
公开日期2012-08-29
专利申请号201110129360.8
内容类型专利
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12012]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
卢增雄,金春水,王丽萍. 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明). 2011-12-28.
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