可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明) | |
卢增雄 ; 金春水 ; 王丽萍 | |
2011-12-28 | |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法,本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域,克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制,能够实现波前的高精度检测。光路包括:一束入射会聚光波,一块光栅,一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板,一个电荷耦合器,该电荷耦合器的输出端接计算机。一束入射会聚光波经过光栅衍射后,被…… |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利申请号 | 201110129360.8 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12012] |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢增雄,金春水,王丽萍. 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明). 2011-12-28. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论