| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) | |
| 巩岩 ; 张巍 ; 倪明阳 ; 赵磊 ; 王学亮 ; 袁文全 | |
| 2011-12-14 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Ｚ轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平台、调整机构、隔振支撑腿和调整平台连接支架；所述Ｚ轴立柱、上检测立柱和气浮转台分别垂直固定在水平大理…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201110212283.2 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12000]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩,张巍,倪明阳,等. 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明). 2011-12-14. |
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