一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) | |
赵磊 ; 巩岩 ; 张巍 ; 倪明阳 | |
2012-06-13 | |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置,涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域,它解决现有光学元件轴向调整装置轴向调整时引起径向误差的问题,本发明从整体上可以看作物镜的一个镜筒单元,通过轴孔精密配合将镜座放入镜筒中;将滑架安装在镜筒外圆柱面上,镜座对镜框组件进行调心,并通过导钉实现滑架与内部镜框组件的连接。三个压…… |
公开日期 | 2012-06-13 |
专利申请号 | 201110127030.5 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11952] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,张巍,等. 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明). 2012-06-13. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论