| 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) | |
| 赵磊 ; 巩岩 ; 张巍 ; 倪明阳 | |
| 2012-06-13 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，它解决现有光学元件轴向调整装置轴向调整时引起径向误差的问题，本发明从整体上可以看作物镜的一个镜筒单元，通过轴孔精密配合将镜座放入镜筒中；将滑架安装在镜筒外圆柱面上，镜座对镜框组件进行调心，并通过导钉实现滑架与内部镜框组件的连接。三个压…… |
| 公开日期 | 2012-06-13 |
| 专利申请号 | 201110127030.5 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11952]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,张巍,等. 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明). 2012-06-13. |
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