| 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) | |
| 巩岩 ; 赵磊 ; 张巍 ; 倪明阳 | |
| 2011-08-24 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种投影物镜系统中光学元件调心装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，本装置整体上可以看作投影光刻物镜系统的一个镜筒单元，可以分宏动调心模块和微动调心模块。宏动调整时，三个螺旋测微仪穿过镜筒、镜座作用在镜框外环的楔形面上，满足大行程调心的同时实现镜框的轴向压紧；微动调整时，固定在镜筒上的两个压电驱动器穿过镜…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201110127023.5 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11947]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩,赵磊,张巍,等. 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明). 2011-08-24. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论