| 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 (发明) | |
| 唐玉国 ; 孔鹏 ; 李文昊 ; 巴音贺希格 ; 齐向东 | |
| 2012-06-13 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法，属于光谱技术领域中涉及的凹面全息光栅曝光光路中所使用的实时监测装置的调整方法。要解决的技术问题是：提供一种调整凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的方法。技术方案为：步骤一，建立一套凹面全息光栅曝光装置；步骤二，将凹面全息光栅曝光装置中制作的全息光栅复位到原来光栅基底放置…… |
| 公开日期 | 2012-06-13 |
| 专利申请号 | 201010599705.1 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11898]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐玉国,孔鹏,李文昊,等. 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 (发明). 2012-06-13. |
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