| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) | |
| 赵磊 ; 巩岩 ; 倪明阳 ; 张巍 ; 王学亮 ; 袁文全 | |
| 2011-08-17 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜系统中的光学元件的微动调整，它解决了现有光学元件轴向微动调整装置存在的系统刚性差、固有频率低、加工制造困难的问题；包括镜筒单元组件、镜框组件、光学元件、三组压电控制驱动单元、三组换向缩放单元、三组导向环和导向滑块，所述镜筒单元组件内设置镜框组件，镜框组件…… |
| 公开日期 | 2011-08-17 |
| 专利申请号 | 201010242492.7 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11793]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,倪明阳,等. 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明). 2011-08-17. |
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