微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明)
胡永生 ; 叶淑娟 ; 秦莉 ; 张楠 ; 宁永强
2010-10-20
专利类型发明专利
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中文摘要一种微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置,涉及半导体器件集成装调技术领域。为解决现有微透镜阵列与二极管激光器陈列集成时,两者间的相对位置难以准确定位的问题,本发明将微透镜阵列和二极管激光器阵列置于真空吸附台,与二极管激光器阵列相连的吸附台置于微调架上,启用超声测厚仪,粗调微调架z方向旋钮和旋转旋钮,使微透镜……
公开日期2012-08-29
专利申请号201010179504.6
内容类型专利
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11770]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
胡永生,叶淑娟,秦莉,等. 微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明). 2010-10-20.
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