微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明) | |
胡永生 ; 叶淑娟 ; 秦莉 ; 张楠 ; 宁永强 | |
2010-10-20 | |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 一种微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置,涉及半导体器件集成装调技术领域。为解决现有微透镜阵列与二极管激光器陈列集成时,两者间的相对位置难以准确定位的问题,本发明将微透镜阵列和二极管激光器阵列置于真空吸附台,与二极管激光器阵列相连的吸附台置于微调架上,启用超声测厚仪,粗调微调架z方向旋钮和旋转旋钮,使微透镜…… |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利申请号 | 201010179504.6 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11770] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡永生,叶淑娟,秦莉,等. 微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明). 2010-10-20. |
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