| 一种稳定的液体靶激光等离子体光源 (发明) | |
| 尼启良 ; 陈波 | |
| 2011-03-02 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种稳定的液体靶激光等离子体光源，属于软Ｘ射线－极紫外光学技术领域中涉及的一种激光等离子体光源。要解决的技术问题是：提供一种稳定的液体靶激光等离子体光源。解决技术问题的技术方案包括激光束、聚光透镜、喷嘴、压电陶瓷振子、半导体致冷器、金属制冷管等部件。该光源分为上、下两部分，上部为金属制冷管和半导体致冷器制冷组成的制冷系…… |
| 公开日期 | 2011-03-02 |
| 专利申请号 | 200610017028.1 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11480]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尼启良,陈波. 一种稳定的液体靶激光等离子体光源 (发明). 2011-03-02. |
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