| Ⅳ型凹面全息光栅的制作方法 (发明) | |
| 李文昊 ; 齐向东 ; 巴音贺希格 | |
| 2008-11-19 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | Ⅳ型凹面全息光栅的制作工艺流程，属于光谱技术领域中涉及的一种光栅的制作工艺流程。本发明要解决的技术问题是提供一种Ⅳ型凹面全息光栅的制作工艺流程，解决技术问题的技术方案包括：基底处理、涂胶、前烘、全息曝光、显影、后烘、热熔、离子束刻蚀、清洁处理、镀膜。该Ⅳ型凹面全息光栅制作工艺流程是新颖的、低成本的、易于实现的，特别是使…… |
| 公开日期 | 2008-11-19 |
| 专利申请号 | 200610016998.X |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11214]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文昊,齐向东,巴音贺希格. Ⅳ型凹面全息光栅的制作方法 (发明). 2008-11-19. |
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