控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明) | |
梁静秋 ; 王波 ; 梁中翥 ; 徐大伟 | |
2010-10-27 | |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及一种控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法,该方法包括下列步骤:制作基片并进行清洗处理;用第一块光刻版光刻形成所需掩蔽图形,第一块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为L/2↑[1];然后沉积镀膜材料,剥离光刻胶及其上的薄膜,形成多级膜层台阶;按上述方法依次制作各膜层台阶,第n块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为L/2↑[…… |
公开日期 | 2010-10-27 |
专利申请号 | 200810050789.6 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11209] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,王波,梁中翥,等. 控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明). 2010-10-27. |
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