| 激光散斑干涉测量方法及装置 (发明) | |
| 王希军 | |
| 2009-10-21 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种用激光测量纳米微粒的方法及装置，麦克尔逊激光干涉光路上放置激光器１、分光板２、空间位相扫描板３、被测样品４、位相扫描反射镜５、ＣＣＤ相机６，调整好麦克尔逊激光干涉光路，在被测样品表面形态变化过程中，利用空间位相扫描板和位相扫描反射镜实时记录被测样品表面立体位相信息，在ＣＣＤ相机中形成横向剪切激光散斑干涉图…… |
| 公开日期 | 2009-10-21 |
| 专利申请号 | 200410010857.8 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11185]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王希军. 激光散斑干涉测量方法及装置 (发明). 2009-10-21. |
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