| 一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置 (发明) | |
| 巩岩 | |
| 2005-07-20 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，属于光学测试技术领域中涉及的一种膜厚测量装置，要解决的技术问题是：提供一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，解决的技术方案：包括高压电源、Ｘ光管、聚光透镜、被测光学多层膜、多层膜基片、工作转台、氩气入口、阴极靶、双狭缝、分光元件、探测器、真空腔体、抽气口。在真空腔体内，…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 200410010637.5 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11174]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩. 一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置 (发明). 2005-07-20. |
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