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题名	纳米栅线结构中粗糙度评定的相关问题研究
作者	杜明贤
答辩日期	2010
导师	景蔚萱
关键词	纳米栅线结构 微细加工技术 线边缘粗糙度 线宽粗糙度 纳米粗糙度评定
学位名称	工学硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4806786
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杜明贤. 纳米栅线结构中粗糙度评定的相关问题研究[D]. 2010.

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