| 籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法 (发明) | |
| 王志军 ; 吕有明 ; 申德振 ; 王之建 ; 李守春 ; 元金山 ; 张吉英 ; 范希武 | |
| 2005-11-16 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明属于半导体材料技术领域，是籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法。将等质量的乙酸锌与碳酸氢钠在室温下充分研磨，在１６０℃下反应２～４小时，将产物用去离子水清洗并在１００℃烘干。利用旋涂技术将１～３％的非晶ＺｎＯ乙醇溶液均匀地旋涂在清洗好的衬底上，在１８０～２００℃下反应２～４小时。将衬底上晶化生成同一取…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 200410010860.X |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11053]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王志军,吕有明,申德振,等. 籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法 (发明). 2005-11-16. |
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