辉光等离子体放电甲烷偶联的光谱研究 | |
王达望; 巩水利; 武洪臣; 李淑青; 马国佳; 孙刚; 马腾才 | |
2012 | |
会议名称 | 中国真空学会2012学术交流会 |
会议日期 | 2012-09-01 |
会议地点 | 兰州 |
关键词 | 等离子体 甲烷偶联 发射光谱 旋转电极 |
页码 | 149-149 |
会议录 | 中国真空学会2012学术交流会
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URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4805454 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 1.高能束流加工技术重点实验室北京航空制造工程研究所 北京 100024 2.物理与光电工程学院,大连理工大学 大连 116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王达望,巩水利,武洪臣,等. 辉光等离子体放电甲烷偶联的光谱研究[C]. 见:中国真空学会2012学术交流会. 兰州. 2012-09-01. |
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