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	微光机电系统波长信道选择器制作方法 (发明)
	梁静秋 ; 李小奇 ; 梁中翥 ; 孙德贵 ; 陈斌
	2010-08-04
专利类型	发明专利
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中文摘要	本发明属于光通讯器件技术领域，是一种微光机电系统波长信道选择器的制作方法。本发明包括：（Ａ）基片处理，（Ｂ）制作光纤准直器定位模块，（Ｃ）制作窄带滤光片定位模块，（Ｄ）固定基片左右两侧光纤准直器，（Ｅ）固定永磁体，（Ｆ）固定可动悬臂阵列，（Ｇ）固定窄带滤光片定位模块，（Ｈ）固定双面反射棱镜，（Ｉ）固定窄带滤光片，（Ｊ）……
公开日期	2010-08-04
专利申请号	200710193511.X
内容类型	专利
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10965]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,李小奇,梁中翥,等. 微光机电系统波长信道选择器制作方法 (发明). 2010-08-04.

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