| 氧分压对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响 | |
| 刘媛媛; 童杨; 王雪霞; 王昆仑; 宋淑梅; 杨田林 | |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 2014 | |
| 卷号 | 43期号:12 |
| 关键词 | 射频磁控溅射 氧分压 光学带隙 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4801534 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国. 2.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国. 3.山东大学空间科学与物 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘媛媛,童杨,王雪霞,等. 氧分压对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响[J]. 人工晶体学报,2014,43(12). |
| APA | 刘媛媛,童杨,王雪霞,王昆仑,宋淑梅,&杨田林.(2014).氧分压对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响.人工晶体学报,43(12). |
| MLA | 刘媛媛,et al."氧分压对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响".人工晶体学报 43.12(2014). |
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