| 粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件 | |
| 张礼; 赵志桓; 曲建飞; 王传超; 裘南畹 | |
| 刊名 | 计测技术
 |
| 2014 | |
| 期号 | z1 |
| 关键词 | 粉末溅射 气敏元件 光刻 稳定性 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4793604 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.济南半导体元件所,山东 济南, 2.山东大学 物理学院,山东 济南, |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张礼,赵志桓,曲建飞,等. 粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件[J]. 计测技术,2014(z1). |
| APA | 张礼,赵志桓,曲建飞,王传超,&裘南畹.(2014).粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件.计测技术(z1). |
| MLA | 张礼,et al."粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件".计测技术 .z1(2014). |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论