| 薄膜气敏材料的性能和研制薄膜气敏元件的工艺探索 | |
| 姜维宾; 崔艳华; 郝福平; 褚文珊; 裘南畹 | |
| 刊名 | 计测技术
 |
| 2014 | |
| 期号 | z1 |
| 关键词 | 金属氧化物 薄膜 电导气敏 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4793536 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.济南半导体所,山东 济南, 2.山东大学 物理学院,山东 济南, |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜维宾,崔艳华,郝福平,等. 薄膜气敏材料的性能和研制薄膜气敏元件的工艺探索[J]. 计测技术,2014(z1). |
| APA | 姜维宾,崔艳华,郝福平,褚文珊,&裘南畹.(2014).薄膜气敏材料的性能和研制薄膜气敏元件的工艺探索.计测技术(z1). |
| MLA | 姜维宾,et al."薄膜气敏材料的性能和研制薄膜气敏元件的工艺探索".计测技术 .z1(2014). |
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