题名 | X射线散射法测量超光滑表面方法研究 |
作者 | 杜韦陶 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2012-05 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
导师 | 王劼 |
关键词 | 同步辐射光源 超光滑表面 白光干涉法 掠入射X射线散射法 表面功率谱密度 表面均方根粗糙度 |
学位专业 | 光学工程 |
中文摘要 | 本文介绍了掠入射X射线散射法,研究了关于PSD的理论模型,将Xiao-Min Tong等于1993年提出的理论拓展到二维情况,推导出X射线散射光强分布与超光滑表面二维PSD函数的关系,简称其为Tong’s理论,并将之与传统理论模型进行对比。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-08-15 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9705] ![]() |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜韦陶. X射线散射法测量超光滑表面方法研究[D]. 中国科学院研究生院. 2012. |
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