| 题名 | 上海光源BL14W1线站掠入射XAFS方法的实现及应用研究 |
| 作者 | 于海生 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2011-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 黄宇营 |
| 关键词 | 掠入射 XAFS 薄膜 |
| 学位专业 | 核技术及应用 |
| 中文摘要 | Ni/Ti多层膜是中子超反射镜光学元件中最重要的材料组合之一，一直以来得到了极大的关注，界面条件在很大程度上决定了超反射镜的质量。通过磁控溅射方法制备的Ti/Ni/Ti薄膜界面处晶化程度很差，存在不同膜层元素的混合与扩散，缺乏有效的表征薄膜界面结构的手段。本文首次运用XRR和掠入射XAFS相结合的方法研究了Ti/Ni/Ti薄膜的界面结构随Ni层厚度的变化，采用Ni foil和NiTi相互扩散混合相的两相结构模型对反射率和吸收谱进行了拟合计算，结果表明，随着薄膜厚度的增加，Ni/Ti界面层间的相互扩散有所增加，Ni层厚度为5nm时，Ni/Ti界面层间的扩散厚度为2nm左右；Ni层厚度为1nm时，由于无序度较大，Ni-Ni配位和Ni-Ti配位的键长有所收缩；随着薄膜Ni层厚度的减小，无序度逐渐增加，Ni-Ti配位增加，Ni-Ni配位减少。实验结果证明，上海光源XAFS线站掠入射系统性能稳定可靠，可以用于薄膜表面及界面的结构研究。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-08-15 |
| 分类号 | O434.19 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9683]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于海生. 上海光源BL14W1线站掠入射XAFS方法的实现及应用研究[D]. 中国科学院研究生院. 2011. |
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