| 衬底温度对不锈钢衬底上制备a-Si∶H薄膜特性的影响 | |
| 杨恢东; 雷飞; 李姗; 王河深 | |
| 2015 | |
| 卷号 | 0期号:5页码:497 |
| 关键词 | 甚高频等离子体化学气相沉积 a-SiH 衬底温度 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4748148 |
| 专题 | 暨南大学 |
| 作者单位 | 暨南大学信息与科学技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨恢东,雷飞,李姗,等. 衬底温度对不锈钢衬底上制备a-Si∶H薄膜特性的影响[J],2015,0(5):497. |
| APA | 杨恢东,雷飞,李姗,&王河深.(2015).衬底温度对不锈钢衬底上制备a-Si∶H薄膜特性的影响.,0(5),497. |
| MLA | 杨恢东,et al."衬底温度对不锈钢衬底上制备a-Si∶H薄膜特性的影响".0.5(2015):497. |
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