CORC  > 大连理工大学
脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究
王华强; 张鹏云; 李玉洁
刊名真空
2012
卷号49页码:86-91
关键词光学发射谱线诊断 脉冲调制 磁场强度 谱线相对强度 电子激发温度
ISSN号1002-0322
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4662324
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室,辽宁大连,116024
推荐引用方式
GB/T 7714
王华强,张鹏云,李玉洁. 脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究[J]. 真空,2012,49:86-91.
APA 王华强,张鹏云,&李玉洁.(2012).脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究.真空,49,86-91.
MLA 王华强,et al."脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究".真空 49(2012):86-91.
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