脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究 | |
王华强; 张鹏云; 李玉洁 | |
刊名 | 真空 |
2012 | |
卷号 | 49页码:86-91 |
关键词 | 光学发射谱线诊断 脉冲调制 磁场强度 谱线相对强度 电子激发温度 |
ISSN号 | 1002-0322 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4662324 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室,辽宁大连,116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王华强,张鹏云,李玉洁. 脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究[J]. 真空,2012,49:86-91. |
APA | 王华强,张鹏云,&李玉洁.(2012).脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究.真空,49,86-91. |
MLA | 王华强,et al."脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar+光谱特性研究".真空 49(2012):86-91. |
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