CORC  > 大连理工大学
题名二极管激光吸收光谱法对双频容性耦合等离子体中氩亚稳态的诊断
作者郭茜
答辩日期2013
授予单位大连理工大学
导师徐勇
关键词可调二极管激光器 等离子体 亚稳态温度 电源频率
学位名称硕士
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出处大连理工大学
内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4650714
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
郭茜. 二极管激光吸收光谱法对双频容性耦合等离子体中氩亚稳态的诊断[D]. 大连理工大学. 2013.
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