CORC  > 大连理工大学
题名超声处理对SU-8胶与金属基底粘附性的影响
作者赵姗姗
答辩日期2013
授予单位大连理工大学
导师杜立群
关键词超声处理 金属基底 划痕法 粘附性 内应力 光刻胶
学位名称硕士
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出处大连理工大学
内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4650522
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
赵姗姗. 超声处理对SU-8胶与金属基底粘附性的影响[D]. 大连理工大学. 2013.
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